Er:YAG激光器的組件
HR腔和轉(zhuǎn)向鏡
•反射率:AOI = 0°時(shí)R> 99.9%,隨機(jī)偏振光在AOI = 45°時(shí)R> 99.8%
•高損傷閾值(400 J / cm2,400μs)
•泵浦反射鏡,透射率在800 nm到1100 nm之間,用Nd:YAG激光器或二極管激光器進(jìn)行泵浦
圖1:具有800nm1100nm之間的HT區(qū)域的HR腔鏡的反射光譜
•雙波長轉(zhuǎn)向鏡, G。 HRr(45°,2940nm)> 99.5%+ Rr(45°,630-655nm)> 95%
•光束分束器和光束組合器, G。 HRr(45°,2940nm)> 99%+ Rr(45°,630-655nm)<20%
•這些組件允許使用He-Ne激光器或635 nm - 655 nm之間的二極管激光器進(jìn)行光學(xué)系統(tǒng)的對準(zhǔn)
圖2:雙波長轉(zhuǎn)向鏡(a)和2940nm的分離器/組合器和630nm和655nm之間的導(dǎo)頻激光器的反射光譜(b)
輸出耦合器和透鏡
•具有調(diào)節(jié)的反射率的輸出耦合器(70%和90%之間的反射率的公差為±1%)
•AR輸出耦合器背面殘留反射率R <0.2%的AR涂層以及由藍(lán)寶石,未摻雜的YAG,CaF2或Infrasil®制成的透鏡和窗戶
圖3:R = 70%(a)和R = 84%的輸出耦合器的反射光譜(b)
圖4:藍(lán)寶石上2,94μm的AR涂層的反射光譜
其他激光器的組件約3μm
特別用于2.6-3.4μm發(fā)射光的激光器的醫(yī)療應(yīng)用的基本效果是該波長范圍內(nèi)水的強(qiáng)烈吸收。在2.6μm和2.8μm之間,水的吸收仍然比2.94μm(Er:YAG激光器)更強(qiáng),這使得激光器在該波長范圍內(nèi)工作(例如Er:Cr:YSGG激光器)有望成為未來應(yīng)用的候選者。
然而,水的強(qiáng)烈吸收也是激光損傷嚴(yán)重的問題。因此,保持層系統(tǒng)不含水是必要的。 LAYERTEC采用磁控濺射技術(shù)生產(chǎn)3μm區(qū)域的涂層。濺射層的高原子密度接近于本體材料的原子密度抑制了水進(jìn)入層系的擴(kuò)散。
這使LAYERTEC能夠?yàn)殛P(guān)鍵的2.6 - 2.8μm區(qū)域提供涂層。圖5示出了以2.8微米為中心的反射率R> 99.7%的HR鏡子作為示例。
圖5:2.8μm的HR鏡的反射光譜,R> 99.7%
Ho:YAG和Tm:YAG激光器的組件
Ho:發(fā)射波長為2010 nm和2100 nm的YAG和Tm:YAG激光器廣泛用于醫(yī)療應(yīng)用。 LAYERTEC為這種波長范圍提供光學(xué)涂層,具有高激光誘發(fā)的損傷閾值和長的使用壽命。
Mirrors
圖1:腔鏡(a)和泵鏡(b)的反射光譜,其具有在808nm附近的高透射率區(qū)域。
圖2:抑制2100nm線(a)的2010nm的腔鏡的反射光譜和2100nm的轉(zhuǎn)向鏡(b)
•HR腔,泵和轉(zhuǎn)向鏡,在AOI = 0°時(shí)R> 99.9%,對于s偏振,AOI = 45°,對于p偏振光,AOI = 45°時(shí)R> 99.8%
•高激光誘發(fā)損傷閾值
輸出耦合器和分束器
圖3:在2100nm具有R = 82%的輸出耦合器的反射光譜
光束分離器和輸出耦合器具有調(diào)節(jié)的反射率:
Reflectance | Tolerance |
|
|
R > 95% | ± 0.5% |
R = 80 ... 95 % | ± 1% |
R = 10 % ... 80% | ± 2% |
薄膜偏振器和邊緣濾光片
Figure
圖4:2010 nm薄膜偏振片的反射光譜(Rs> 99.8%,Rp <2%,AOI = 55°)(a)和用于分離2010 nm和2100 nm線(b)的陡邊濾光片 )
薄膜偏光鏡
•光的s和p偏振分量的分離(s偏振光被反射并且p偏振光被透射)
•可以為AOI> 40°生產(chǎn)TFP,但是如果使用AOI≈55°(布魯斯特角),則極化有效,出現(xiàn)在寬波長范圍
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